EBSD und BKD Home

Grundlagen

FastEBSD

EBSD&EDS

Bildkontrast

PatternQuality

Links

Impressum

    Texturmessung schematisch dargestellt

        Rückstreu-Kikuchi-Beugung
      im Raster-Elektronen-Mikroskop
      ("EBSD", "BKD", "ACOM/SEM",
      "Orientation Microscopy")

      Dr. Robert Schwarzer
      Kappstr. 65
      D-71083 Herrenberg
      Germany

      E-mail: mail@crystaltexture.com

      Stand  20. Januar 2016 

    Zusammenfassung

    In konventionellen EBSD-Systemen werden die Einzelorientierungen on-line aus Rückstreu-Kikuchi-Diagrammen ermittelt, eventuell unterstützt durch simultane EDS-Analyse. Wir bevorzugen im FastEBSD-System die separate Messung und off-line Auswertung. Dazu werden die Rückstreu-Kikuchi-Diagramme beim Abrastern der Probe nicht als einzelne Bilder, sondern wie ein Videofilm als Diagrammsequenz zunächst auf der Festplatte gespeichert. Die Aufnahmegeschwindigkeit liegt zur Zeit bei 1100 Pattern/sec (Ni-Probe, <20 nA, 20 kV, 68x68 Pixel) und die anschließende Auswertung bei bis zu 2000 Orientierungen/sec. 

    FastEBSD bietet ferner:

  • Die Aufnahme von Diagramm-Sequenzen und von EDS-Spektren einschließlich der quantitativen Analyse unter jeweils optimalen Bedingungen. Die um eine Größenordnung schlechtere Ortsauflösung von EDS kann durch "Grid Morphing" berücksichtigt werden.
  • Die Auswertung der unbearbeiteten Diagrammsequenzen kann jederzeit und reproduzierbar wiederholt werden. Dies ermöglicht die Optimierung von Auswerteparametern sowie Berücksichtigung nicht erwarteter Phasen.
  • Rauschunterdrückung in den Diagrammen durch nichtlineare Filterung im Radonraum
  • Konstruktion von Orientierungs-, Topographie- und Materialkontrast- Gefügebildern durch Auswertung der Rückstreuintensitäten in den Diagrammen anstelle von Intensitätsmessungen mit zusätzlichen Halbleiterdetektoren
  • die Darstellung kristallographischer Richtungen in Form von ternären Millerplots
  • eine Schnittstelle zu MatLab®, so dass der Anwender eigene Programmerweiterungen implementieren kann.

    _________________
    R. Schwarzer und J. Sukkau: Reproduzierbare EBSD-Messung im REM durch Pattern Streaming und off-line Auswertung.
    Vortragstexte der 47. Metallographie-Tagung, Friedrichshafen 2013, 227-232
    INVENTUM GmbH, Bonn 2013,   ISBN 978-3-88355-398-6

    Download   : Vortrag